सेमीकंडक्टरसाठी उच्च-शुद्धता गॅस पाइपिंगचे महत्त्व

As सेमीकंडक्टरआणि मायक्रोइलेक्ट्रॉनिक तंत्रज्ञान उच्च कार्यक्षमता आणि उच्च एकात्मतेच्या दिशेने विकसित होते, इलेक्ट्रॉनिक विशेष वायूंच्या शुद्धतेवर उच्च आवश्यकता ठेवल्या जातात. उच्च-शुद्धता गॅस पाइपिंग तंत्रज्ञान उच्च-शुद्धता गॅस पुरवठा प्रणालीचा एक महत्त्वाचा भाग आहे. उच्च-शुद्धता वायू वितरीत करण्यासाठी हे मुख्य तंत्रज्ञान आहे जे अद्याप योग्य गुणवत्ता राखून गॅस वापर बिंदूंच्या आवश्यकता पूर्ण करते.

उच्च-शुद्धता पाईपिंग तंत्रज्ञानामध्ये सिस्टमची योग्य रचना, पाईप फिटिंग्ज आणि सहायक सामग्रीची निवड, बांधकाम आणि स्थापना आणि चाचणी समाविष्ट आहे.

01 गॅस ट्रांसमिशन पाईपिंगची सामान्य संकल्पना

सर्व उच्च-शुद्धता आणि उच्च-स्वच्छता वायू पाइपलाइनद्वारे टर्मिनल गॅस पॉईंटपर्यंत पोहोचवणे आवश्यक आहे. गॅससाठी प्रक्रिया गुणवत्तेची आवश्यकता पूर्ण करण्यासाठी, जेव्हा गॅस निर्यात निर्देशांक निश्चित असतो, तेव्हा सामग्रीची निवड आणि पाईपिंग सिस्टमच्या बांधकाम गुणवत्तेकडे लक्ष देणे अधिक आवश्यक आहे. गॅस निर्मिती किंवा शुध्दीकरण उपकरणांच्या अचूकतेव्यतिरिक्त, पाइपलाइन प्रणालीच्या अनेक घटकांमुळे ते मोठ्या प्रमाणावर प्रभावित होते. म्हणून, पाईप्सच्या निवडीसाठी संबंधित शुद्धीकरण उद्योग तत्त्वांचे पालन करणे आवश्यक आहे आणि रेखाचित्रांमध्ये पाईप्सची सामग्री चिन्हांकित करणे आवश्यक आहे.

02 गॅस वाहतुकीमध्ये उच्च-शुद्धतेच्या पाइपलाइनचे महत्त्व

उच्च-शुद्धतेच्या वायू वाहतुकीमध्ये उच्च-शुद्धतेच्या पाइपलाइनचे महत्त्व स्टेनलेस स्टील वितळण्याच्या प्रक्रियेदरम्यान, प्रत्येक टन सुमारे 200 ग्रॅम गॅस शोषू शकतो. स्टेनलेस स्टीलवर प्रक्रिया केल्यानंतर, त्याच्या पृष्ठभागावर केवळ विविध प्रदूषकच अडकतात असे नाही तर त्याच्या धातूच्या जाळीमध्ये विशिष्ट प्रमाणात वायू देखील शोषला जातो. जेव्हा पाइपलाइनमधून वायुप्रवाह जातो तेव्हा धातूद्वारे शोषलेला वायूचा भाग वायुप्रवाहात पुन्हा प्रवेश करेल आणि शुद्ध वायू प्रदूषित करेल.

जेव्हा पाईपमधील हवेचा प्रवाह खंडित असतो, तेव्हा पाईपमधून जाणाऱ्या वायूवर दाब शोषण तयार करते. जेव्हा वायुप्रवाह थांबतो तेव्हा पाईपद्वारे शोषलेला वायू दबाव कमी करण्याचे विश्लेषण तयार करतो आणि विश्लेषण केलेला वायू पाईपमधील शुद्ध वायूमध्ये अशुद्धता म्हणून प्रवेश करतो.

त्याच वेळी, शोषण आणि विश्लेषण चक्रामुळे पाईपच्या आतील पृष्ठभागावरील धातू विशिष्ट प्रमाणात पावडर तयार करेल. या धातूच्या धूलिकणामुळे पाईपमधील शुद्ध वायूही प्रदूषित होतो. पाईपचे हे वैशिष्ट्य खूप महत्वाचे आहे. वाहून नेलेल्या वायूची शुद्धता सुनिश्चित करण्यासाठी, केवळ पाईपच्या आतील पृष्ठभागावर अत्यंत उच्च गुळगुळीतपणा असणे आवश्यक नाही तर त्यास उच्च पोशाख प्रतिरोध देखील असणे आवश्यक आहे.

जेव्हा गॅसमध्ये मजबूत संक्षारक गुणधर्म असतात, तेव्हा पाइपिंगसाठी गंज-प्रतिरोधक स्टेनलेस स्टील पाईप्स वापरणे आवश्यक आहे. अन्यथा, गंजामुळे पाईपच्या आतील पृष्ठभागावर गंजलेले डाग दिसून येतील. गंभीर प्रकरणांमध्ये, धातूचे मोठे तुकडे सोलतील किंवा छिद्र पाडतील, ज्यामुळे शुद्ध वायू दूषित होईल.

03 पाईप साहित्य

वापराच्या गरजेनुसार पाईपची सामग्री निवडणे आवश्यक आहे. पाईपची गुणवत्ता सामान्यतः पाईपच्या आतील पृष्ठभागाच्या उग्रपणानुसार मोजली जाते. खडबडीतपणा जितका कमी असेल तितके कण वाहून जाण्याची शक्यता कमी असते. साधारणपणे तीन प्रकारांमध्ये विभागले जाते:

एक आहेEP ग्रेड 316L पाईप, जे इलेक्ट्रोलाइटिकली पॉलिश केले गेले आहे (इलेक्ट्रो-पॉलिश). हे गंज-प्रतिरोधक आहे आणि पृष्ठभागावर कमी खडबडीत आहे. Rmax (कमाल शिखर ते दरीची उंची) सुमारे 0.3μm किंवा कमी आहे. यात सर्वाधिक सपाटपणा आहे आणि सूक्ष्म-एडी प्रवाह तयार करणे सोपे नाही. दूषित कण काढा. प्रक्रियेत वापरला जाणारा प्रतिक्रिया वायू या स्तरावर पाईप केला पाहिजे.

एक आहे एबीए ग्रेड 316Lपाईप, ज्यावर ब्राइट एनीलद्वारे उपचार केले गेले आहेत आणि बहुतेकदा चिपच्या संपर्कात असलेल्या परंतु GN2 आणि CDA सारख्या प्रक्रियेत सहभागी नसलेल्या वायूंसाठी वापरला जातो. एक म्हणजे AP पाईप (ॲनीलिंग आणि पिकिंग), ज्यावर विशेष उपचार केले जात नाहीत आणि सामान्यतः बाहेरील पाईप्सच्या दुहेरी सेटसाठी वापरले जातात जे गॅस पुरवठा लाईन म्हणून वापरले जात नाहीत.

04 पाइपलाइन बांधकाम

पाईपच्या तोंडावर प्रक्रिया करणे हा या बांधकाम तंत्रज्ञानाचा मुख्य मुद्दा आहे. पाइपलाइन कटिंग आणि प्रीफॅब्रिकेशन स्वच्छ वातावरणात केले जाते आणि त्याच वेळी, कापण्यापूर्वी पाइपलाइनच्या पृष्ठभागावर कोणतेही हानिकारक चिन्ह किंवा नुकसान नसल्याची खात्री केली जाते. पाइपलाइनमध्ये नायट्रोजन फ्लशिंगची तयारी पाइपलाइन उघडण्यापूर्वी केली पाहिजे. तत्त्वानुसार, वेल्डिंगचा वापर उच्च-शुद्धता आणि उच्च-स्वच्छता गॅस ट्रांसमिशन आणि वितरण पाइपलाइनला मोठ्या प्रवाहासह जोडण्यासाठी केला जातो, परंतु थेट वेल्डिंगला परवानगी नाही. केसिंग जॉइंट्स वापरणे आवश्यक आहे, आणि वेल्डिंग दरम्यान संरचनेत कोणताही बदल न करणे आवश्यक आहे. जर खूप जास्त कार्बन सामग्री असलेली सामग्री वेल्डेड केली असेल तर, वेल्डिंगच्या भागाच्या हवेच्या पारगम्यतेमुळे पाईपच्या आत आणि बाहेरील वायू एकमेकांमध्ये प्रवेश करतात, ज्यामुळे वायूची शुद्धता, कोरडेपणा आणि स्वच्छता नष्ट होते, ज्यामुळे गंभीर परिणाम होतात. आणि उत्पादनाच्या गुणवत्तेवर परिणाम होतो.

सारांश, उच्च-शुद्धता वायू आणि विशेष गॅस ट्रांसमिशन पाइपलाइनसाठी, विशेष उपचारित उच्च-शुद्धतेचे स्टेनलेस स्टील पाईप वापरणे आवश्यक आहे, ज्यामुळे उच्च-शुद्धता पाइपलाइन प्रणाली (पाइपलाइन, पाईप फिटिंग्ज, व्हॉल्व्ह, व्हीएमबी, व्हीएमपी) व्यापते. उच्च-शुद्धता वायू वितरणातील महत्त्वपूर्ण मिशन.