इलेक्ट्रॉनिक अभियांत्रिकी प्रणालींमध्ये उच्च-शुद्धता असलेल्या गॅस पाइपलाइनचा वापर

९०९ प्रोजेक्ट व्हेरी लार्ज स्केल इंटिग्रेटेड सर्किट फॅक्टरी हा नवव्या पंचवार्षिक योजनेदरम्यान माझ्या देशाच्या इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योगाचा एक प्रमुख बांधकाम प्रकल्प आहे ज्यामध्ये ०.१८ मायक्रॉन रुंदी आणि २०० मिमी व्यासाच्या चिप्स तयार केल्या जातील.

खूप मोठ्या प्रमाणावरील एकात्मिक सर्किट्सच्या उत्पादन तंत्रज्ञानामध्ये केवळ सूक्ष्म-मशीनिंगसारख्या उच्च-परिशुद्धता तंत्रज्ञानाचा समावेश नाही तर गॅस शुद्धतेवर देखील उच्च आवश्यकता लागू केल्या जातात.
प्रोजेक्ट ९०९ साठी मोठ्या प्रमाणात गॅस पुरवठा युनायटेड स्टेट्सच्या प्रॅक्सएअर युटिलिटी गॅस कंपनी लिमिटेड आणि शांघायमधील संबंधित पक्षांच्या संयुक्त उपक्रमाद्वारे केला जातो जेणेकरून संयुक्तपणे गॅस उत्पादन प्रकल्प स्थापन केला जाईल. गॅस उत्पादन प्रकल्प ९०९ प्रकल्प कारखाना इमारतीला लागून आहे, जो सुमारे १५,००० चौरस मीटर क्षेत्र व्यापतो. विविध वायूंची शुद्धता आणि आउटपुट आवश्यकता

उच्च-शुद्धता नायट्रोजन (PN2), नायट्रोजन (N2) आणि उच्च-शुद्धता ऑक्सिजन (PO2) हवेच्या पृथक्करणाद्वारे तयार केले जातात. उच्च-शुद्धता हायड्रोजन (PH2) इलेक्ट्रोलिसिसद्वारे तयार केले जाते. आर्गॉन (Ar) आणि हेलियम (He) आउटसोर्सद्वारे खरेदी केले जातात. प्रकल्प 909 मध्ये वापरण्यासाठी अर्ध-वायू शुद्ध आणि फिल्टर केला जातो. विशेष गॅस बाटल्यांमध्ये पुरवला जातो आणि गॅस बाटली कॅबिनेट एकात्मिक सर्किट उत्पादन संयंत्राच्या सहाय्यक कार्यशाळेत स्थित आहे.
इतर वायूंमध्ये स्वच्छ कोरडी कॉम्प्रेस्ड एअर सीडीए सिस्टम देखील समाविष्ट आहे, ज्याचा वापर व्हॉल्यूम 4185 मीटर 3/तास आहे, प्रेशर ड्यू पॉइंट -70°C आहे आणि वापराच्या ठिकाणी गॅसमध्ये कण आकार 0.01um पेक्षा जास्त नाही. श्वास घेणारी कॉम्प्रेस्ड एअर (BA) सिस्टम, वापर व्हॉल्यूम 90 मीटर 3/तास, प्रेशर ड्यू पॉइंट 2℃, वापराच्या ठिकाणी गॅसमधील कण आकार 0.3um पेक्षा जास्त नाही, प्रोसेस व्हॅक्यूम (PV) सिस्टम, वापर व्हॉल्यूम 582 मीटर 3/तास, वापराच्या ठिकाणी व्हॅक्यूम डिग्री -79993Pa. क्लिनिंग व्हॅक्यूम (HV) सिस्टम, वापर व्हॉल्यूम 1440 मीटर 3/तास, वापराच्या ठिकाणी व्हॅक्यूम डिग्री -59995 Pa. एअर कॉम्प्रेसर रूम आणि व्हॅक्यूम पंप रूम दोन्ही 909 प्रकल्प कारखाना क्षेत्रात आहेत.

पाईप साहित्य आणि अॅक्सेसरीजची निवड
व्हीएलएसआय उत्पादनात वापरल्या जाणाऱ्या वायूसाठी अत्यंत उच्च स्वच्छता आवश्यकता आहेत.उच्च-शुद्धता असलेल्या गॅस पाइपलाइनसामान्यतः स्वच्छ उत्पादन वातावरणात वापरले जातात आणि त्यांचे स्वच्छता नियंत्रण वापरात असलेल्या जागेच्या स्वच्छतेच्या पातळीशी सुसंगत किंवा त्यापेक्षा जास्त असले पाहिजे! याव्यतिरिक्त, उच्च-शुद्धता असलेल्या गॅस पाइपलाइन बहुतेकदा स्वच्छ उत्पादन वातावरणात वापरल्या जातात. शुद्ध हायड्रोजन (PH2), उच्च-शुद्धता असलेला ऑक्सिजन (PO2) आणि काही विशेष वायू ज्वलनशील, स्फोटक, ज्वलन-समर्थक किंवा विषारी वायू आहेत. जर गॅस पाइपलाइन प्रणाली चुकीच्या पद्धतीने डिझाइन केली गेली असेल किंवा साहित्य चुकीच्या पद्धतीने निवडले गेले असेल, तर गॅस पॉइंटवर वापरल्या जाणाऱ्या गॅसची शुद्धता कमी होईलच, परंतु ती अयशस्वी देखील होईल. ते प्रक्रियेच्या आवश्यकता पूर्ण करते, परंतु ते वापरण्यास असुरक्षित आहे आणि स्वच्छ कारखान्यात प्रदूषण निर्माण करेल, ज्यामुळे स्वच्छ कारखान्याची सुरक्षितता आणि स्वच्छता प्रभावित होईल.
वापराच्या ठिकाणी उच्च-शुद्धतेच्या वायूच्या गुणवत्तेची हमी केवळ गॅस उत्पादन, शुद्धीकरण उपकरणे आणि फिल्टरच्या अचूकतेवर अवलंबून नसते, तर पाइपलाइन प्रणालीतील अनेक घटकांमुळे देखील मोठ्या प्रमाणात प्रभावित होते. जर आपण गॅस उत्पादन उपकरणे, शुद्धीकरण उपकरणे आणि फिल्टरवर अवलंबून राहिलो तर अयोग्य गॅस पाइपिंग सिस्टम डिझाइन किंवा सामग्री निवडीची भरपाई करण्यासाठी अमर्याद उच्च अचूकता आवश्यकता लादणे चुकीचे आहे.
९०९ प्रकल्पाच्या डिझाइन प्रक्रियेदरम्यान, आम्ही “स्वच्छ वनस्पतींच्या डिझाइनसाठी संहिता” GBJ73-84 (सध्याचे मानक (GB50073-2001) आहे), “संकुचित वायु स्थानकांच्या डिझाइनसाठी संहिता” GBJ29-90, “ऑक्सिजन स्थानकांच्या डिझाइनसाठी संहिता” GB50030-91, “हायड्रोजन आणि ऑक्सिजन स्थानकांच्या डिझाइनसाठी संहिता” GB50177-93 आणि पाइपलाइन साहित्य आणि अॅक्सेसरीजच्या निवडीसाठी संबंधित तांत्रिक उपायांचे पालन केले. “स्वच्छ वनस्पतींच्या डिझाइनसाठी संहिता” पाइपलाइन साहित्य आणि व्हॉल्व्हची निवड खालीलप्रमाणे निश्चित करते:

(१) जर वायूची शुद्धता ९९.९९९% पेक्षा जास्त किंवा समान असेल आणि दवबिंदू -७६°C पेक्षा कमी असेल, तर इलेक्ट्रोपॉलिश केलेल्या आतील भिंतीसह ००Cr१७Ni१२Mo२Ti कमी-कार्बन स्टेनलेस स्टील पाईप (३१६L) किंवा इलेक्ट्रोपॉलिश केलेल्या आतील भिंतीसह OCr१८Ni९ स्टेनलेस स्टील पाईप (३०४) वापरावे. व्हॉल्व्ह डायफ्राम व्हॉल्व्ह किंवा बेलो व्हॉल्व्ह असावा.

(२) जर गॅस शुद्धता ९९.९९% पेक्षा जास्त किंवा समान असेल आणि दवबिंदू -६०°C पेक्षा कमी असेल, तर इलेक्ट्रोपॉलिश केलेल्या आतील भिंतीसह OCr18Ni9 स्टेनलेस स्टील ट्यूब (३०४) वापरली पाहिजे. ज्वलनशील गॅस पाइपलाइनसाठी वापरल्या जाणाऱ्या बेलो व्हॉल्व्ह वगळता, इतर गॅस पाइपलाइनसाठी बॉल व्हॉल्व्ह वापरावेत.

(३) जर कोरड्या दाबलेल्या हवेचा दवबिंदू -७०°C पेक्षा कमी असेल, तर पॉलिश केलेल्या आतील भिंतीसह OCr18Ni9 स्टेनलेस स्टील पाईप (३०४) वापरावा. जर दवबिंदू -४०°C पेक्षा कमी असेल, तर OCr18Ni9 स्टेनलेस स्टील पाईप (३०४) किंवा हॉट-डिप गॅल्वनाइज्ड सीमलेस स्टील पाईप वापरावा. व्हॉल्व्ह बेलोज व्हॉल्व्ह किंवा बॉल व्हॉल्व्ह असावा.

(४) व्हॉल्व्ह मटेरियल कनेक्टिंग पाईप मटेरियलशी सुसंगत असावे.

विशिष्टतेच्या आवश्यकता आणि संबंधित तांत्रिक उपायांनुसार, पाइपलाइन साहित्य निवडताना आम्ही प्रामुख्याने खालील बाबींचा विचार करतो:

(१) पाईप मटेरियलची वायु पारगम्यता लहान असावी. वेगवेगळ्या पदार्थांपासून बनवलेल्या पाईप्समध्ये वेगवेगळी वायु पारगम्यता असते. जर जास्त वायु पारगम्यता असलेले पाईप्स निवडले तर प्रदूषण दूर करता येत नाही. स्टेनलेस स्टील पाईप्स आणि कॉपर पाईप्स वातावरणात ऑक्सिजनचा प्रवेश आणि गंज रोखण्यासाठी चांगले असतात. तथापि, स्टेनलेस स्टील पाईप्स तांब्याच्या पाईप्सपेक्षा कमी सक्रिय असल्याने, तांब्याचे पाईप्स वातावरणातील ओलावा त्यांच्या आतील पृष्ठभागावर प्रवेश करण्यास अधिक सक्रिय असतात. म्हणून, उच्च-शुद्धता असलेल्या गॅस पाइपलाइनसाठी पाईप्स निवडताना, स्टेनलेस स्टील पाईप्स ही पहिली पसंती असावी.

(२) पाईप मटेरियलचा आतील पृष्ठभाग शोषलेला असतो आणि वायूच्या विश्लेषणावर त्याचा थोडासा परिणाम होतो. स्टेनलेस स्टील पाईप प्रक्रिया केल्यानंतर, त्याच्या धातूच्या जाळीमध्ये विशिष्ट प्रमाणात वायू टिकून राहील. जेव्हा उच्च-शुद्धता असलेला वायू जातो तेव्हा वायूचा हा भाग हवेच्या प्रवाहात प्रवेश करेल आणि प्रदूषण करेल. त्याच वेळी, शोषण आणि विश्लेषणामुळे, पाईपच्या आतील पृष्ठभागावरील धातू देखील विशिष्ट प्रमाणात पावडर तयार करेल, ज्यामुळे उच्च-शुद्धता असलेल्या वायूला प्रदूषण होईल. ९९.९९९% किंवा ppb पातळीपेक्षा जास्त शुद्धता असलेल्या पाईपिंग सिस्टमसाठी, ००Cr१७Ni१२Mo२Ti कमी कार्बन स्टेनलेस स्टील पाईप (३१६L) वापरावे.

(३) स्टेनलेस स्टील पाईप्सचा पोशाख प्रतिरोध तांब्याच्या पाईप्सपेक्षा चांगला असतो आणि हवेच्या प्रवाहाच्या क्षरणामुळे निर्माण होणारी धातूची धूळ तुलनेने कमी असते. स्वच्छतेसाठी उच्च आवश्यकता असलेल्या उत्पादन कार्यशाळा 00Cr17Ni12Mo2Ti कमी कार्बन स्टेनलेस स्टील पाईप्स (316L) किंवा OCr18Ni9 स्टेनलेस स्टील पाईप्स (304) वापरू शकतात, तांबे पाईप्स वापरता कामा नयेत.

(४) ९९.९९९% किंवा ppb किंवा ppt पातळीपेक्षा जास्त गॅस शुद्धता असलेल्या पाइपिंग सिस्टमसाठी किंवा "क्लीन फॅक्टरी डिझाइन कोड" मध्ये निर्दिष्ट केलेल्या N1-N6 च्या हवा स्वच्छतेची पातळी असलेल्या स्वच्छ खोल्यांमध्ये, अल्ट्रा-क्लीन पाईप्स किंवाईपी अल्ट्रा-क्लीन पाईप्सवापरावे. "अत्यंत गुळगुळीत आतील पृष्ठभाग असलेली स्वच्छ नळी" स्वच्छ करा.

(५) उत्पादन प्रक्रियेत वापरल्या जाणाऱ्या काही विशेष गॅस पाइपलाइन सिस्टीम अत्यंत संक्षारक वायू असतात. या पाइपलाइन सिस्टीममधील पाईप्समध्ये गंज-प्रतिरोधक स्टेनलेस स्टील पाईप्स पाईप्स म्हणून वापरल्या पाहिजेत. अन्यथा, गंजमुळे पाईप्स खराब होतील. पृष्ठभागावर गंजाचे डाग आढळल्यास, सामान्य सीमलेस स्टील पाईप्स किंवा गॅल्वनाइज्ड वेल्डेड स्टील पाईप्स वापरता कामा नयेत.

(६) तत्वतः, सर्व गॅस पाइपलाइन कनेक्शन वेल्डिंग केले पाहिजेत. गॅल्वनाइज्ड स्टील पाईप्सच्या वेल्डिंगमुळे गॅल्वनाइज्ड थर नष्ट होईल, म्हणून स्वच्छ खोल्यांमध्ये पाईप्ससाठी गॅल्वनाइज्ड स्टील पाईप्स वापरल्या जात नाहीत.

वरील बाबी विचारात घेऊन, &7& प्रकल्पात निवडलेले गॅस पाइपलाइन पाईप्स आणि व्हॉल्व्ह खालीलप्रमाणे आहेत:

उच्च-शुद्धता नायट्रोजन (PN2) सिस्टम पाईप्स 00Cr17Ni12Mo2Ti लो-कार्बन स्टेनलेस स्टील पाईप्स (316L) पासून बनलेले आहेत ज्यांच्या आतील भिंती इलेक्ट्रोपॉलिश केलेल्या आहेत आणि व्हॉल्व्ह त्याच मटेरियलच्या स्टेनलेस स्टील बेलो व्हॉल्व्हपासून बनलेले आहेत.
नायट्रोजन (N2) सिस्टीम पाईप्स 00Cr17Ni12Mo2Ti लो-कार्बन स्टेनलेस स्टील पाईप्स (316L) पासून बनलेले आहेत ज्यांच्या आतील भिंती इलेक्ट्रोपॉलिश केलेल्या आहेत आणि व्हॉल्व्ह त्याच मटेरियलच्या स्टेनलेस स्टील बेलो व्हॉल्व्हपासून बनलेले आहेत.
उच्च-शुद्धता हायड्रोजन (PH2) सिस्टम पाईप्स 00Cr17Ni12Mo2Ti लो-कार्बन स्टेनलेस स्टील पाईप्स (316L) पासून बनलेले आहेत ज्यांच्या आतील भिंती इलेक्ट्रोपॉलिश केलेल्या आहेत आणि व्हॉल्व्ह त्याच मटेरियलच्या स्टेनलेस स्टील बेलो व्हॉल्व्हपासून बनलेले आहेत.
उच्च-शुद्धता ऑक्सिजन (PO2) सिस्टम पाईप्स 00Cr17Ni12Mo2Ti लो-कार्बन स्टेनलेस स्टील पाईप्स (316L) पासून बनलेले आहेत ज्यांच्या आतील भिंती इलेक्ट्रो-पॉलिश केल्या आहेत आणि व्हॉल्व्ह त्याच मटेरियलच्या स्टेनलेस स्टील बेलो व्हॉल्व्हपासून बनलेले आहेत.
आर्गॉन (Ar) सिस्टीम पाईप्स 00Cr17Ni12Mo2Ti लो-कार्बन स्टेनलेस स्टील पाईप्स (316L) पासून बनवलेले असतात ज्यांच्या आतील भिंती इलेक्ट्रोपॉलिश केलेल्या असतात आणि त्याच मटेरियलचे स्टेनलेस स्टील बेलो व्हॉल्व्ह वापरले जातात.
हेलियम (He) सिस्टीम पाईप्स 00Cr17Ni12Mo2Ti लो-कार्बन स्टेनलेस स्टील पाईप्स (316L) पासून बनलेले आहेत ज्यांच्या आतील भिंती इलेक्ट्रोपॉलिश केलेल्या आहेत आणि व्हॉल्व्ह त्याच मटेरियलच्या स्टेनलेस स्टील बेलो व्हॉल्व्हपासून बनलेले आहेत.
स्वच्छ कोरड्या कॉम्प्रेस्ड एअर (CDA) सिस्टम पाईप्स OCr18Ni9 स्टेनलेस स्टील पाईप्स (304) पासून बनलेले आहेत ज्यांच्या आतील भिंती पॉलिश केल्या आहेत आणि व्हॉल्व्ह त्याच मटेरियलच्या स्टेनलेस स्टील बेलो व्हॉल्व्हपासून बनलेले आहेत.
श्वास घेणारे कॉम्प्रेस्ड एअर (BA) सिस्टम पाईप्स पॉलिश केलेल्या आतील भिंती असलेल्या OCr18Ni9 स्टेनलेस स्टील पाईप्स (304) पासून बनलेले आहेत आणि व्हॉल्व्ह त्याच मटेरियलच्या स्टेनलेस स्टील बॉल व्हॉल्व्हपासून बनलेले आहेत.
प्रोसेस व्हॅक्यूम (पीव्ही) सिस्टम पाईप्स यूपीव्हीसी पाईप्सपासून बनलेले असतात आणि व्हॉल्व्ह्स त्याच मटेरियलपासून बनवलेल्या व्हॅक्यूम बटरफ्लाय व्हॉल्व्हपासून बनलेले असतात.
क्लिनिंग व्हॅक्यूम (HV) सिस्टम पाईप्स UPVC पाईप्सपासून बनवलेले असतात आणि व्हॉल्व्ह त्याच मटेरियलपासून बनवलेल्या व्हॅक्यूम बटरफ्लाय व्हॉल्व्हपासून बनवलेले असतात.
विशेष गॅस सिस्टीमचे सर्व पाईप्स 00Cr17Ni12Mo2Ti लो-कार्बन स्टेनलेस स्टील पाईप्स (316L) पासून बनलेले आहेत ज्यांच्या आतील भिंती इलेक्ट्रोपॉलिश केलेल्या आहेत आणि व्हॉल्व्ह त्याच मटेरियलच्या स्टेनलेस स्टील बेलो व्हॉल्व्हपासून बनलेले आहेत.

३ पाइपलाइनचे बांधकाम आणि स्थापना
३.१ “स्वच्छ कारखाना इमारत डिझाइन कोड” च्या कलम ८.३ मध्ये पाइपलाइन कनेक्शनसाठी खालील तरतुदी नमूद केल्या आहेत:
(१) पाईप कनेक्शन वेल्डेड असले पाहिजेत, परंतु हॉट-डिप गॅल्वनाइज्ड स्टील पाईप्स थ्रेडेड असले पाहिजेत. थ्रेडेड कनेक्शनचे सीलिंग मटेरियल या स्पेसिफिकेशनच्या कलम ८.३.३ च्या आवश्यकतांचे पालन करेल.
(२) स्टेनलेस स्टील पाईप्स आर्गॉन आर्क वेल्डिंग आणि बट वेल्डिंग किंवा सॉकेट वेल्डिंगद्वारे जोडले पाहिजेत, परंतु उच्च-शुद्धतेच्या गॅस पाईपलाइन आतील भिंतीवर खुणा न ठेवता बट वेल्डिंगद्वारे जोडल्या पाहिजेत.
(३) पाइपलाइन आणि उपकरणांमधील कनेक्शन उपकरणांच्या कनेक्शन आवश्यकतांचे पालन केले पाहिजे. नळी कनेक्शन वापरताना, धातूच्या नळ्या वापरल्या पाहिजेत.
(४) पाइपलाइन आणि व्हॉल्व्हमधील कनेक्शन खालील नियमांचे पालन करायला हवे.

① उच्च-शुद्धतेच्या गॅस पाइपलाइन आणि व्हॉल्व्हला जोडणाऱ्या सीलिंग मटेरियलमध्ये उत्पादन प्रक्रियेच्या आवश्यकता आणि गॅस वैशिष्ट्यांनुसार मेटल गॅस्केट किंवा डबल फेरूल्स वापरावेत.
②थ्रेडेड किंवा फ्लॅंज कनेक्शनवरील सीलिंग मटेरियल पॉलीटेट्राफ्लुरोइथिलीन असावे.
३.२ स्पेसिफिकेशन आणि संबंधित तांत्रिक उपायांच्या आवश्यकतांनुसार, उच्च-शुद्धता असलेल्या गॅस पाइपलाइनचे कनेक्शन शक्य तितके वेल्डिंग केले पाहिजे. वेल्डिंग दरम्यान डायरेक्ट बट वेल्डिंग टाळावे. पाईप स्लीव्हज किंवा फिनिश्ड जॉइंट्स वापरावेत. पाईप स्लीव्हज पाईप्ससारख्याच मटेरियलचे आणि आतील पृष्ठभागाच्या गुळगुळीतपणाचे बनलेले असावेत. वेल्डिंग दरम्यान, वेल्डिंग भागाचे ऑक्सिडेशन टाळण्यासाठी, शुद्ध संरक्षक वायू वेल्डिंग पाईपमध्ये आणावा. स्टेनलेस स्टील पाईप्ससाठी, आर्गॉन आर्क वेल्डिंग वापरावे आणि पाईपमध्ये त्याच शुद्धतेचा आर्गॉन वायू आणावा. थ्रेडेड कनेक्शन किंवा थ्रेडेड कनेक्शन वापरणे आवश्यक आहे. फ्लॅंज जोडताना, थ्रेडेड कनेक्शनसाठी फेरूल्स वापरावेत. ऑक्सिजन पाईप्स आणि हायड्रोजन पाईप्स वगळता, जे मेटल गॅस्केट वापरतात, इतर पाईप्सनी पॉलीटेट्राफ्लोरोइथिलीन गॅस्केट वापरावेत. गॅस्केटवर थोड्या प्रमाणात सिलिकॉन रबर लावणे देखील प्रभावी ठरेल. सीलिंग प्रभाव वाढवा. फ्लॅंज कनेक्शन बनवताना समान उपाययोजना कराव्यात.
स्थापनेचे काम सुरू होण्यापूर्वी, पाईप्सची सविस्तर दृश्य तपासणी,फिटिंग्ज, व्हॉल्व्ह इत्यादी कामे करणे आवश्यक आहे. सामान्य स्टेनलेस स्टील पाईप्सच्या आतील भिंतीला स्थापनेपूर्वी मळणी करावी. ऑक्सिजन पाइपलाइनच्या पाईप्स, फिटिंग्ज, व्हॉल्व्ह इत्यादींना तेलापासून पूर्णपणे प्रतिबंधित केले पाहिजे आणि स्थापनेपूर्वी संबंधित आवश्यकतांनुसार ते काटेकोरपणे कमी केले पाहिजेत.
सिस्टम स्थापित करण्यापूर्वी आणि वापरात आणण्यापूर्वी, ट्रान्समिशन आणि डिस्ट्रिब्युशन पाइपलाइन सिस्टमला उच्च-शुद्धता वायूने ​​पूर्णपणे स्वच्छ केले पाहिजे. हे केवळ स्थापना प्रक्रियेदरम्यान चुकून सिस्टममध्ये पडलेल्या धुळीच्या कणांना उडवून देत नाही तर पाइपलाइन सिस्टममध्ये कोरडे करण्याची भूमिका बजावते, पाईपच्या भिंतीद्वारे शोषलेल्या ओलावायुक्त वायूचा काही भाग आणि अगदी पाईप सामग्री देखील काढून टाकते.

४. पाइपलाइन दाब चाचणी आणि स्वीकृती
(१) ही प्रणाली स्थापित केल्यानंतर, विशेष गॅस पाइपलाइनमध्ये अत्यंत विषारी द्रव वाहून नेणाऱ्या पाईप्सची १००% रेडिओग्राफिक तपासणी केली जाईल आणि त्यांची गुणवत्ता पातळी II पेक्षा कमी नसावी. इतर पाईप्सचे नमुना रेडिओग्राफिक तपासणी केली जाईल आणि नमुना तपासणी प्रमाण ५% पेक्षा कमी नसावे, गुणवत्ता श्रेणी III पेक्षा कमी नसावी.
(२) विना-विध्वंसक तपासणी उत्तीर्ण झाल्यानंतर, दाब चाचणी केली पाहिजे. पाईपिंग सिस्टमची कोरडेपणा आणि स्वच्छता सुनिश्चित करण्यासाठी, हायड्रॉलिक दाब चाचणी केली जाऊ नये, परंतु वायवीय दाब चाचणी वापरली पाहिजे. स्वच्छ खोलीच्या स्वच्छतेच्या पातळीशी जुळणारी नायट्रोजन किंवा संकुचित हवा वापरून हवेचा दाब चाचणी केली पाहिजे. पाइपलाइनचा चाचणी दाब डिझाइन दाबाच्या १.१५ पट असावा आणि व्हॅक्यूम पाइपलाइनचा चाचणी दाब ०.२MPa असावा. चाचणी दरम्यान, दाब हळूहळू आणि हळूहळू वाढवावा. जेव्हा दबाव चाचणी दाबाच्या ५०% पर्यंत वाढतो, जर कोणतीही असामान्यता किंवा गळती आढळली नाही, तर चाचणी दाबाच्या १०% ने टप्प्याटप्प्याने दाब वाढवत रहा आणि चाचणी दाब येईपर्यंत प्रत्येक पातळीवर ३ मिनिटे दाब स्थिर करा. १० मिनिटांसाठी दाब स्थिर करा, नंतर डिझाइन दाबापर्यंत दाब कमी करा. गळती शोधण्याच्या गरजेनुसार दाब थांबण्याचा वेळ निश्चित केला पाहिजे. गळती नसल्यास फोमिंग एजंट पात्र आहे.
(३) व्हॅक्यूम सिस्टीमने प्रेशर टेस्ट उत्तीर्ण केल्यानंतर, डिझाइन कागदपत्रांनुसार २४ तासांची व्हॅक्यूम डिग्री टेस्ट देखील करावी आणि प्रेशरायझेशन रेट ५% पेक्षा जास्त नसावा.
(४) गळती चाचणी. पीपीबी आणि पीपीटी ग्रेड पाइपलाइन सिस्टीमसाठी, संबंधित वैशिष्ट्यांनुसार, कोणत्याही गळतीला पात्र मानले जाऊ नये, परंतु डिझाइन दरम्यान गळती रक्कम चाचणी वापरली जाते, म्हणजेच, गळती रक्कम चाचणी एअर टाइटनेस चाचणीनंतर केली जाते. दाब म्हणजे कार्यरत दाब, आणि दाब २४ तासांसाठी थांबवला जातो. सरासरी तासाची गळती पात्र म्हणून ५० पीपीएम पेक्षा कमी किंवा समान असते. गळतीची गणना खालीलप्रमाणे आहे:
अ=(१-पी२टी१/पी१टी२)*१००/टी
सूत्रात:
तासाभरात गळती (%)
P1 - चाचणीच्या सुरुवातीला परिपूर्ण दाब (Pa)
P2 - चाचणीच्या शेवटी परिपूर्ण दाब (Pa)
चाचणीच्या सुरुवातीला T1-परिपूर्ण तापमान (K)
चाचणीच्या शेवटी T2-परिपूर्ण तापमान (K)