इलेक्ट्रॉनिक अभियांत्रिकी प्रणालींमध्ये उच्च-शुद्धतेच्या गॅस पाइपलाइनचा वापर

909 प्रोजेक्ट व्हेरी लार्ज स्केल इंटिग्रेटेड सर्किट फॅक्टरी हा माझ्या देशाच्या इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योगाचा नवव्या पंचवार्षिक योजनेत 0.18 मायक्रॉनच्या रुंदीच्या आणि 200 मिमी व्यासाच्या चीप तयार करण्याचा एक प्रमुख बांधकाम प्रकल्प आहे.

खूप मोठ्या प्रमाणात इंटिग्रेटेड सर्किट्सच्या उत्पादन तंत्रज्ञानामध्ये केवळ सूक्ष्म-मशीनिंगसारख्या उच्च-परिशुद्धता तंत्रज्ञानाचा समावेश नाही तर गॅस शुद्धतेवर उच्च आवश्यकता देखील समाविष्ट आहे.
प्रकल्प 909 साठी मोठ्या प्रमाणात गॅस पुरवठा युनायटेड स्टेट्सच्या Praxair Utility Gas Co., Ltd. आणि शांघायमधील संबंधित पक्ष यांच्या संयुक्त उपक्रमाद्वारे संयुक्तपणे गॅस उत्पादन प्रकल्प स्थापन करण्यासाठी प्रदान केला जातो. गॅस निर्मिती प्रकल्प 909 प्रकल्प कारखान्याला लागून आहे. इमारत, अंदाजे 15,000 चौरस मीटर क्षेत्र व्यापते. विविध वायूंची शुद्धता आणि आउटपुट आवश्यकता

उच्च-शुद्धता नायट्रोजन (PN2), नायट्रोजन (N2), आणि उच्च-शुद्धता ऑक्सिजन (PO2) हवेच्या पृथक्करणाने तयार होतात. उच्च-शुद्धता हायड्रोजन (PH2) इलेक्ट्रोलिसिसद्वारे तयार केले जाते. आर्गॉन (एआर) आणि हेलियम (हे) आउटसोर्सद्वारे खरेदी केले जातात. प्रोजेक्ट 909 मध्ये वापरण्यासाठी अर्ध-वायू शुद्ध आणि फिल्टर केला जातो. विशेष गॅस बाटल्यांमध्ये पुरविला जातो आणि गॅस बाटलीचे कॅबिनेट एकात्मिक सर्किट उत्पादन संयंत्राच्या सहाय्यक कार्यशाळेत स्थित आहे.
इतर वायूंमध्ये स्वच्छ कोरडी संकुचित हवा CDA प्रणाली देखील समाविष्ट आहे, ज्याचा वापर 4185m3/h आहे, दाब दवबिंदू -70°C आहे आणि वापराच्या ठिकाणी गॅसमध्ये 0.01um पेक्षा जास्त नसलेल्या कणांचा आकार आहे. ब्रीदिंग कॉम्प्रेस्ड एअर (बीए) सिस्टम, वापर व्हॉल्यूम 90m3/h, दाब दव बिंदू 2℃, वापराच्या ठिकाणी गॅसमधील कणांचा आकार 0.3um पेक्षा जास्त नाही, प्रक्रिया व्हॅक्यूम (PV) सिस्टम, वापर व्हॉल्यूम 582m3/h, वापराच्या ठिकाणी व्हॅक्यूम डिग्री -79993Pa . क्लीनिंग व्हॅक्यूम (HV) प्रणाली, वापर व्हॉल्यूम 1440m3/h, वापर बिंदूवर व्हॅक्यूम डिग्री -59995 Pa. एअर कॉम्प्रेसर रूम आणि व्हॅक्यूम पंप रूम दोन्ही 909 प्रकल्प कारखाना परिसरात आहेत.

पाईप साहित्य आणि उपकरणे निवड
व्हीएलएसआय उत्पादनामध्ये वापरल्या जाणाऱ्या वायूमध्ये अत्यंत उच्च स्वच्छता आवश्यकता असते.उच्च-शुद्धता गॅस पाइपलाइनसामान्यतः स्वच्छ उत्पादन वातावरणात वापरले जातात आणि त्यांचे स्वच्छता नियंत्रण वापरात असलेल्या जागेच्या स्वच्छतेच्या पातळीशी सुसंगत किंवा त्यापेक्षा जास्त असावे! याव्यतिरिक्त, स्वच्छ उत्पादन वातावरणात उच्च-शुद्धता गॅस पाइपलाइन वापरली जातात. शुद्ध हायड्रोजन (PH2), उच्च-शुद्धता ऑक्सिजन (PO2) आणि काही विशेष वायू हे ज्वलनशील, स्फोटक, ज्वलनास आधार देणारे किंवा विषारी वायू आहेत. जर गॅस पाइपलाइन सिस्टीम अयोग्यरित्या डिझाइन केली गेली असेल किंवा सामग्री अयोग्यरित्या निवडली गेली असेल तर गॅस पॉईंटवर वापरल्या जाणार्या गॅसची शुद्धता केवळ कमी होणार नाही तर ते अयशस्वी देखील होईल. हे प्रक्रिया आवश्यकता पूर्ण करते, परंतु ते वापरण्यासाठी असुरक्षित आहे आणि स्वच्छ कारखान्यात प्रदूषण करेल, स्वच्छ कारखान्याच्या सुरक्षिततेवर आणि स्वच्छतेवर परिणाम करेल.
वापराच्या ठिकाणी उच्च-शुद्धता वायूच्या गुणवत्तेची हमी केवळ गॅस उत्पादन, शुद्धीकरण उपकरणे आणि फिल्टर्सच्या अचूकतेवर अवलंबून नाही तर पाइपलाइन प्रणालीतील अनेक घटकांमुळे मोठ्या प्रमाणात प्रभावित होते. जर आपण गॅस उत्पादन उपकरणे, शुद्धीकरण उपकरणे आणि फिल्टरवर अवलंबून राहिलो तर अयोग्य गॅस पाइपिंग सिस्टम डिझाइन किंवा सामग्री निवडीची भरपाई करण्यासाठी अमर्यादपणे उच्च परिशुद्धता आवश्यकता लादणे चुकीचे आहे.
909 प्रकल्पाच्या डिझाइन प्रक्रियेदरम्यान, आम्ही “स्वच्छ वनस्पतींच्या डिझाइनसाठी कोड” GBJ73-84 (सध्याचे मानक (GB50073-2001) आहे), “संकुचित एअर स्टेशन्सच्या डिझाइनसाठी कोड” GBJ29-90, “कोड” चे अनुसरण केले. ऑक्सिजन स्टेशनच्या डिझाईनसाठी” GB50030-91, “कोड फॉर डिझाईन ऑफ हायड्रोजन आणि ऑक्सिजन स्टेशन” GB50177-93, आणि पाइपलाइन सामग्री आणि उपकरणे निवडण्यासाठी संबंधित तांत्रिक उपाय. "स्वच्छ वनस्पतींच्या डिझाईनसाठी कोड" पाइपलाइन सामग्री आणि वाल्वची निवड खालीलप्रमाणे निर्धारित करते:

(1) गॅसची शुद्धता 99.999% पेक्षा जास्त किंवा समान असल्यास आणि दवबिंदू -76°C पेक्षा कमी असल्यास, 00Cr17Ni12Mo2Ti लो-कार्बन स्टेनलेस स्टील पाईप (316L) इलेक्ट्रोपॉलिश केलेल्या अंतर्गत भिंतीसह किंवा OCr18Ni9 स्टेनलेस स्टील पाईप (304) सह इलेक्ट्रोपॉलिश केलेली आतील भिंत वापरली पाहिजे. व्हॉल्व्ह डायफ्राम व्हॉल्व्ह किंवा बेलोज व्हॉल्व्ह असावा.

(२) वायूची शुद्धता 99.99% पेक्षा जास्त किंवा समान असल्यास आणि दवबिंदू -60°C पेक्षा कमी असल्यास, OCr18Ni9 स्टेनलेस स्टील ट्यूब (304) इलेक्ट्रोपॉलिश केलेल्या अंतर्गत भिंतीचा वापर करावा. ज्वलनशील गॅस पाइपलाइनसाठी वापरल्या जाणाऱ्या बेलो व्हॉल्व्ह वगळता, बॉल व्हॉल्व्ह इतर गॅस पाइपलाइनसाठी वापरावेत.

(३) कोरड्या संकुचित हवेचा दवबिंदू -70°C पेक्षा कमी असल्यास, पॉलिश केलेल्या आतील भिंतीसह OCr18Ni9 स्टेनलेस स्टील पाइप (304) वापरावा. दवबिंदू -40℃ पेक्षा कमी असल्यास, OCr18Ni9 स्टेनलेस स्टील पाईप (304) किंवा हॉट-डिप गॅल्वनाइज्ड सीमलेस स्टील पाईप वापरावे. व्हॉल्व्ह बेलोज व्हॉल्व्ह किंवा बॉल व्हॉल्व्ह असावा.

(4) वाल्व सामग्री कनेक्टिंग पाईप सामग्रीशी सुसंगत असावी.

तपशील आणि संबंधित तांत्रिक उपायांच्या आवश्यकतांनुसार, पाइपलाइन सामग्री निवडताना आम्ही प्रामुख्याने खालील बाबींचा विचार करतो:

(1) पाईप सामग्रीची हवेची पारगम्यता लहान असावी. वेगवेगळ्या सामग्रीच्या पाईप्सची हवा पारगम्यता वेगळी असते. जास्त हवेच्या पारगम्यतेसह पाईप्स निवडल्यास, प्रदूषण काढले जाऊ शकत नाही. स्टेनलेस स्टील पाईप्स आणि कॉपर पाईप्स वातावरणात ऑक्सिजनचा प्रवेश आणि गंज रोखण्यासाठी चांगले आहेत. तथापि, स्टेनलेस स्टील पाईप्स तांब्याच्या पाईप्सपेक्षा कमी सक्रिय असल्याने, तांबे पाईप्स वातावरणातील ओलावा त्यांच्या आतील पृष्ठभागांमध्ये प्रवेश करण्यासाठी अधिक सक्रिय असतात. म्हणून, उच्च-शुद्धतेच्या गॅस पाइपलाइनसाठी पाईप्स निवडताना, स्टेनलेस स्टील पाईप्स ही पहिली निवड असावी.

(2) पाईप सामग्रीच्या आतील पृष्ठभागावर शोषले जाते आणि वायूचे विश्लेषण करताना थोडासा प्रभाव पडतो. स्टेनलेस स्टील पाईपवर प्रक्रिया केल्यानंतर, त्याच्या धातूच्या जाळीमध्ये ठराविक प्रमाणात वायू ठेवला जाईल. जेव्हा उच्च-शुद्धता वायू त्यातून जातो तेव्हा वायूचा हा भाग हवेच्या प्रवाहात प्रवेश करतो आणि प्रदूषणास कारणीभूत ठरतो. त्याच वेळी, शोषण आणि विश्लेषणामुळे, पाईपच्या आतील पृष्ठभागावरील धातू देखील विशिष्ट प्रमाणात पावडर तयार करेल, ज्यामुळे उच्च-शुद्धता वायूचे प्रदूषण होईल. 99.999% किंवा ppb पातळीपेक्षा जास्त शुद्धता असलेल्या पाइपिंग सिस्टमसाठी, 00Cr17Ni12Mo2Ti कमी कार्बन स्टेनलेस स्टील पाईप (316L) वापरावे.

(३) स्टेनलेस स्टील पाईप्सची पोशाख प्रतिरोधक क्षमता तांब्याच्या पाईप्सपेक्षा चांगली असते आणि हवेच्या प्रवाहाच्या क्षरणाने निर्माण होणारी धातूची धूळ तुलनेने कमी असते. स्वच्छतेसाठी उच्च आवश्यकता असलेल्या उत्पादन कार्यशाळांमध्ये 00Cr17Ni12Mo2Ti लो कार्बन स्टेनलेस स्टील पाईप्स (316L) किंवा OCr18Ni9 स्टेनलेस स्टील पाईप्स (304), कॉपर पाईप्स वापरल्या जाऊ शकत नाहीत.

(4) 99.999% किंवा ppb किंवा ppt पातळीपेक्षा जास्त गॅस शुद्धता असलेल्या पाईपिंग सिस्टमसाठी किंवा स्वच्छ खोल्यांमध्ये "क्लीन फॅक्टरी डिझाइन कोड" मध्ये निर्दिष्ट केलेल्या N1-N6 च्या हवेच्या स्वच्छतेच्या पातळीसह, अल्ट्रा-क्लीन पाईप्स किंवाEP अल्ट्रा-क्लीन पाईप्सवापरले पाहिजे. "अति-गुळगुळीत आतील पृष्ठभागासह स्वच्छ ट्यूब" स्वच्छ करा.

(5) उत्पादन प्रक्रियेत वापरल्या जाणाऱ्या काही विशेष गॅस पाइपलाइन सिस्टीम अत्यंत संक्षारक वायू आहेत. या पाइपलाइन सिस्टीममधील पाईप्समध्ये पाईप म्हणून गंज-प्रतिरोधक स्टेनलेस स्टील पाईप्स वापरणे आवश्यक आहे. अन्यथा, पाईप्स गंजल्यामुळे खराब होतील. जर पृष्ठभागावर गंजचे डाग आढळले तर, सामान्य सीमलेस स्टील पाईप्स किंवा गॅल्वनाइज्ड वेल्डेड स्टील पाईप्स वापरल्या जाणार नाहीत.

(6) तत्वतः, सर्व गॅस पाइपलाइन कनेक्शन वेल्डेड केले पाहिजेत. गॅल्वनाइज्ड स्टील पाईप्सच्या वेल्डिंगमुळे गॅल्वनाइज्ड लेयर नष्ट होईल, गॅल्वनाइज्ड स्टील पाईप्स स्वच्छ खोल्यांमध्ये पाईप्ससाठी वापरल्या जात नाहीत.

वरील बाबी विचारात घेऊन, &7& प्रकल्पात निवडलेले गॅस पाइपलाइन पाईप्स आणि व्हॉल्व्ह खालीलप्रमाणे आहेत:

हाय-प्युरिटी नायट्रोजन (PN2) सिस्टीम पाईप्स 00Cr17Ni12Mo2Ti लो-कार्बन स्टेनलेस स्टील पाईप्स (316L) ने इलेक्ट्रोपॉलिश केलेल्या आतील भिंतींपासून बनविलेले आहेत आणि व्हॉल्व्ह त्याच सामग्रीच्या स्टेनलेस स्टील बेलो व्हॉल्व्हचे बनलेले आहेत.
नायट्रोजन (N2) सिस्टीम पाईप्स 00Cr17Ni12Mo2Ti लो-कार्बन स्टेनलेस स्टील पाईप्स (316L) ने इलेक्ट्रोपॉलिश केलेल्या आतील भिंतींपासून बनलेले आहेत आणि वाल्व त्याच सामग्रीच्या स्टेनलेस स्टीलच्या बेलो वाल्व्हचे बनलेले आहेत.
हाय-प्युरिटी हायड्रोजन (PH2) सिस्टीम पाईप्स 00Cr17Ni12Mo2Ti लो-कार्बन स्टेनलेस स्टील पाईप्स (316L) ने इलेक्ट्रोपॉलिश केलेल्या आतील भिंतींपासून बनविलेले आहेत आणि व्हॉल्व्ह त्याच सामग्रीच्या स्टेनलेस स्टील बेलो व्हॉल्व्हचे बनलेले आहेत.
हाय-प्युरिटी ऑक्सिजन (PO2) सिस्टीम पाईप्स 00Cr17Ni12Mo2Ti लो-कार्बन स्टेनलेस स्टील पाईप्स (316L) ने इलेक्ट्रो-पॉलिश केलेल्या आतील भिंतींनी बनलेले आहेत आणि व्हॉल्व्ह त्याच सामग्रीच्या स्टेनलेस स्टीलच्या बेलो व्हॉल्व्हचे बनलेले आहेत.
आर्गॉन (Ar) सिस्टीम पाईप्स 00Cr17Ni12Mo2Ti लो-कार्बन स्टेनलेस स्टील पाईप्स (316L) ने इलेक्ट्रोपॉलिश केलेल्या आतील भिंतींपासून बनविलेले असतात आणि त्याच सामग्रीचे स्टेनलेस स्टील बेलो व्हॉल्व्ह वापरले जातात.
हेलियम (He) सिस्टीम पाईप्स 00Cr17Ni12Mo2Ti लो-कार्बन स्टेनलेस स्टील पाईप्स (316L) ने इलेक्ट्रोपॉलिश केलेल्या आतील भिंतींसह बनलेले आहेत आणि वाल्व त्याच सामग्रीच्या स्टेनलेस स्टीलच्या बेलो वाल्व्हचे बनलेले आहेत.
क्लीन ड्राय कॉम्प्रेस्ड एअर (CDA) सिस्टीम पाईप्स OCr18Ni9 स्टेनलेस स्टील पाईप्स (304) पॉलिश केलेल्या आतील भिंतींनी बनलेले आहेत आणि व्हॉल्व्ह त्याच सामग्रीच्या स्टेनलेस स्टीलच्या बेलो वाल्व्हचे बनलेले आहेत.
ब्रीथिंग कॉम्प्रेस्ड एअर (BA) सिस्टीम पाईप्स OCr18Ni9 स्टेनलेस स्टील पाईप्स (304) पॉलिश केलेल्या आतील भिंतींनी बनलेले आहेत आणि व्हॉल्व्ह त्याच सामग्रीच्या स्टेनलेस स्टील बॉल व्हॉल्व्हचे बनलेले आहेत.
प्रक्रिया व्हॅक्यूम (पीव्ही) सिस्टीम पाईप्स UPVC पाईप्सचे बनलेले आहेत, आणि व्हॉल्व्ह व्हॅक्यूम बटरफ्लाय व्हॉल्व्ह समान सामग्रीपासून बनलेले आहेत.
क्लीनिंग व्हॅक्यूम (HV) सिस्टीम पाईप्स UPVC पाईप्सचे बनलेले आहेत आणि व्हॉल्व्ह व्हॅक्यूम बटरफ्लाय व्हॉल्व्ह समान सामग्रीचे बनलेले आहेत.
स्पेशल गॅस सिस्टीमचे पाईप्स सर्व 00Cr17Ni12Mo2Ti लो-कार्बन स्टेनलेस स्टील पाईप्स (316L) ने इलेक्ट्रोपॉलिश केलेल्या आतील भिंतींनी बनलेले आहेत आणि व्हॉल्व्ह त्याच सामग्रीच्या स्टेनलेस स्टीलच्या बेलो वाल्व्हचे बनलेले आहेत.

3 पाइपलाइनचे बांधकाम आणि स्थापना
3.1 “क्लीन फॅक्टरी बिल्डिंग डिझाइन कोड” च्या कलम 8.3 मध्ये पाइपलाइन कनेक्शनसाठी खालील तरतुदी नमूद केल्या आहेत:
(1) पाईप कनेक्शन वेल्डेड केले पाहिजेत, परंतु हॉट-डिप गॅल्वनाइज्ड स्टील पाईप्स थ्रेड केलेले असावेत. थ्रेडेड कनेक्शनची सीलिंग सामग्री या तपशीलाच्या कलम 8.3.3 च्या आवश्यकतांचे पालन करेल.
(2) स्टेनलेस स्टील पाईप्स आर्गॉन आर्क वेल्डिंग आणि बट वेल्डिंग किंवा सॉकेट वेल्डिंगद्वारे जोडल्या गेल्या पाहिजेत, परंतु उच्च-शुद्धतेच्या गॅस पाइपलाइन आतील भिंतीवर खुणा न करता बट वेल्डिंगद्वारे जोडल्या पाहिजेत.
(३) पाइपलाइन आणि उपकरणे यांच्यातील कनेक्शनने उपकरणांच्या कनेक्शन आवश्यकतांचे पालन केले पाहिजे. रबरी नळी जोडणी वापरताना, धातूच्या होसेस वापरल्या पाहिजेत.
(4) पाइपलाइन आणि वाल्व्ह यांच्यातील कनेक्शनने खालील नियमांचे पालन केले पाहिजे

① उच्च-शुद्धतेच्या गॅस पाइपलाइन आणि व्हॉल्व्हला जोडणाऱ्या सीलिंग सामग्रीमध्ये उत्पादन प्रक्रियेच्या आवश्यकता आणि गॅस वैशिष्ट्यांनुसार मेटल गॅस्केट किंवा दुहेरी फेरूल्सचा वापर केला पाहिजे.
②थ्रेडेड किंवा फ्लँज कनेक्शनवर सीलिंग सामग्री पॉलिटेट्राफ्लुरोइथिलीन असावी.
3.2 तपशील आणि संबंधित तांत्रिक उपायांच्या आवश्यकतांनुसार, उच्च-शुद्धतेच्या गॅस पाइपलाइनचे कनेक्शन शक्य तितके वेल्डेड केले जावे. वेल्डिंग करताना डायरेक्ट बट वेल्डिंग टाळावे. पाईप आस्तीन किंवा तयार सांधे वापरावे. पाईप आस्तीन पाईप्स प्रमाणेच सामग्री आणि आतील पृष्ठभाग गुळगुळीत केले पाहिजे. पातळी, वेल्डिंग दरम्यान, वेल्डिंग भागाचे ऑक्सिडेशन टाळण्यासाठी, शुद्ध संरक्षणात्मक वायू वेल्डिंग पाईपमध्ये टाकला पाहिजे. स्टेनलेस स्टील पाईप्ससाठी, आर्गॉन आर्क वेल्डिंगचा वापर केला पाहिजे आणि त्याच शुद्धतेचा आर्गॉन वायू पाईपमध्ये आणला पाहिजे. थ्रेडेड कनेक्शन किंवा थ्रेडेड कनेक्शन वापरणे आवश्यक आहे. फ्लॅन्जेस कनेक्ट करताना, थ्रेडेड कनेक्शनसाठी फेरूल्सचा वापर केला पाहिजे. ऑक्सिजन पाईप्स आणि हायड्रोजन पाईप्स वगळता, ज्यात धातूचे गॅस्केट वापरावेत, इतर पाईप्समध्ये पॉलिटेट्राफ्लुरोइथिलीन गॅस्केट वापरावे. गॅस्केट्सवर थोड्या प्रमाणात सिलिकॉन रबर लावणे देखील प्रभावी होईल. सीलिंग प्रभाव वाढवा. जेव्हा फ्लँज कनेक्शन केले जातात तेव्हा तत्सम उपाययोजना केल्या पाहिजेत.
स्थापनेचे काम सुरू होण्यापूर्वी, पाईप्सची तपशीलवार व्हिज्युअल तपासणी,फिटिंग्ज, झडपा इ. चालते करणे आवश्यक आहे. स्थापनेपूर्वी सामान्य स्टेनलेस स्टील पाईप्सची आतील भिंत लोणची असावी. ऑक्सिजन पाइपलाइनचे पाईप्स, फिटिंग्ज, व्हॉल्व्ह इत्यादींना तेलापासून कठोरपणे प्रतिबंधित केले जावे आणि स्थापनेपूर्वी संबंधित आवश्यकतांनुसार काटेकोरपणे कमी केले जावे.
प्रणाली स्थापित करण्यापूर्वी आणि वापरात आणण्यापूर्वी, वितरण आणि वितरण पाइपलाइन प्रणाली वितरित उच्च-शुद्धता वायूने ​​पूर्णपणे शुद्ध केली पाहिजे. हे केवळ इन्स्टॉलेशन प्रक्रियेदरम्यान सिस्टममध्ये चुकून पडलेले धूलिकणच उडवत नाही तर पाइपलाइन सिस्टममध्ये कोरडेपणाची भूमिका देखील बजावते, पाईपच्या भिंतीद्वारे शोषलेल्या ओलावा-युक्त वायूचा भाग आणि अगदी पाईप सामग्री देखील काढून टाकते.

4. पाइपलाइन दाब चाचणी आणि स्वीकृती
(1) प्रणाली स्थापित केल्यानंतर, विशेष गॅस पाइपलाइनमध्ये अत्यंत विषारी द्रवपदार्थांची वाहतूक करणाऱ्या पाईप्सची 100% रेडियोग्राफिक तपासणी केली जाईल आणि त्यांची गुणवत्ता पातळी II पेक्षा कमी नसावी. इतर पाईप्स सॅम्पलिंग रेडिओग्राफिक तपासणीच्या अधीन असतील आणि सॅम्पलिंग तपासणीचे प्रमाण 5% पेक्षा कमी नसावे, गुणवत्ता ग्रेड III पेक्षा कमी नसावी.
(२) विना-विध्वंसक तपासणी उत्तीर्ण झाल्यानंतर, दाब चाचणी केली पाहिजे. पाईपिंग सिस्टमची कोरडेपणा आणि स्वच्छता सुनिश्चित करण्यासाठी, हायड्रॉलिक प्रेशर चाचणी केली जाऊ नये, परंतु वायवीय दाब चाचणी वापरली पाहिजे. हवेच्या दाबाची चाचणी स्वच्छ खोलीच्या स्वच्छतेच्या पातळीशी जुळणारी नायट्रोजन किंवा संकुचित हवा वापरून केली पाहिजे. पाइपलाइनचा चाचणी दबाव डिझाइन दाबाच्या 1.15 पट असावा आणि व्हॅक्यूम पाइपलाइनचा चाचणी दबाव 0.2MPa असावा. चाचणी दरम्यान, दबाव हळूहळू आणि हळूहळू वाढला पाहिजे. जेव्हा दबाव चाचणीच्या दाबाच्या 50% पर्यंत वाढतो, कोणतीही असामान्यता किंवा गळती आढळली नाही तर, चाचणी दाबाच्या 10% ने टप्प्याटप्प्याने दाब वाढवणे सुरू ठेवा आणि चाचणी दाब होईपर्यंत प्रत्येक स्तरावर 3 मिनिटे दाब स्थिर करा. . 10 मिनिटांसाठी दाब स्थिर करा, नंतर डिझाइन प्रेशरमध्ये दबाव कमी करा. गळती शोधण्याच्या गरजेनुसार दबाव थांबण्याची वेळ निश्चित केली पाहिजे. जर गळती नसेल तर फोमिंग एजंट पात्र आहे.
(3) व्हॅक्यूम सिस्टमने प्रेशर टेस्ट पास केल्यानंतर, डिझाईनच्या कागदपत्रांनुसार 24-तास व्हॅक्यूम डिग्री टेस्ट देखील घेतली पाहिजे आणि दबाव दर 5% पेक्षा जास्त नसावा.
(4) गळती चाचणी. पीपीबी आणि पीपीटी ग्रेड पाइपलाइन सिस्टमसाठी, संबंधित वैशिष्ट्यांनुसार, कोणतीही गळती पात्र मानली जाऊ नये, परंतु गळती प्रमाण चाचणी डिझाइन दरम्यान वापरली जाते, म्हणजेच, गळती प्रमाण चाचणी एअर टाइटनेस चाचणीनंतर केली जाते. दबाव कामाचा दबाव आहे, आणि दबाव 24 तासांसाठी थांबविला जातो. पात्रतेनुसार सरासरी तासाला गळती 50ppm पेक्षा कमी किंवा तितकीच असते. गळतीची गणना खालीलप्रमाणे आहे:
A=(1-P2T1/P1T2)*100/T
सूत्रात:
A-तास गळती (%)
P1-परीक्षेच्या सुरुवातीला पूर्ण दाब (Pa)
P2- चाचणीच्या शेवटी पूर्ण दाब (Pa)
T1 - चाचणीच्या सुरूवातीस परिपूर्ण तापमान (K)
T2 - चाचणीच्या शेवटी परिपूर्ण तापमान (K)